跟随误差在进行定位的过程中查看，负载的实际位置必然滞后于设定位置，两者之间有一个偏差。跟随误差监视功能就是对这个偏差进行监视，若偏差超过最大允许误差范围，那么系统会报错。可以根据实际情况调整，以充分发挥动态跟随误差监视的作用。
伺服轴出现跟随误差一般是正常的，只要在系统允许的范围内即可。可通过这三种方式减小跟随误差：提高机械精度；适当增加伺服轴的增益和140将加速度和减速度适当降低，减小惯性对机械的影响。
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